在半导体制造领域,曝光机一直是关键设备。近日,行业巨头ASML推出了次世代曝光机,引发广泛关注。这部曝光机每部售价高达3.8亿美元,较之上一代产品价格贵了一倍。如此高昂的价格背后,是其蕴含的先进技术与卓越性能。随着半导体工艺不断向更小制程迈进,对曝光机的精度、效率等要求也越来越高。ASML这款次世代曝光机有望满足行业未来发展的需求,推动芯片制造技术迈向新高度。它的推出也将影响整个半导体产业链的格局,众多芯片制造商是否会选择采用值得期待。
在芯片制造过程之中,曝光机是相当重要的存在,荷兰ASML就是这方面的龙头企业,最近正式公开High-NA EUV微影曝光设备,进一步提升芯片生产技术。
ASML先前终于向外界公开其次世代TWINSCAN EXE:5000曝光机(光刻机),采用新一代的High-NA EUV微影曝光技术,重量达到165吨,造价3.8亿美元,是上代Low-NA EUV曝光机差不多2倍价钱。ASML表示,新一代曝光机可以打印8纳米的图案,比上代密度提升1.7倍,每小时可生产185个芯片。
这样庞大的机器需要由250名工程师在实地组装,而且需要6个月。去年Intel已经购买一部TWINSCAN EXE:5000,不过在2025年之前都不会用于生产。而台积电方面仍然未有计划升级曝光机,可能正在等待更先进的产品推出才一次过投资,也就是Hyper NA技术,预计在2030年左右推出。
来源:Extreme Tech
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