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在半导体行业蓬勃发展的今天,半导体掺杂技术逐渐走进大众视野。那什么叫半导体掺杂技术呢?简单来说,它是一种人为地在本征半导体中掺入少量特定杂质元素的工艺手段。通过这种技术,能够精确改变半导体的电学性能,比如控制其导电性。半导体掺杂技术在各类电子设备中有着举足轻重的地位,从智能手机到电脑芯片,都离不开它的助力。了解这一技术,不仅有助于我们深入认识半导体的工作原理,更能窥探现代科技背后的精密奥秘,接下来让我们一同揭开它的神秘面纱。
1、半导体的常用掺杂技术主要有两种,即高扩散和离子注入。掺入的杂质主要有两类,第一类是提供载流子的受主杂质或施主杂质,第二类是产生复合中心的重金属杂质。
2、热扩散技术是对于施主或受主杂质的掺入,就需要进行较高温度的热扩散。为了让晶体中产生出大量的晶格空位,所以,就必须对晶体加热,让晶体原子的热运动加剧,以使得某些原子获得足够高的能量而离开晶格位置、留下空位。
3、离子注入技术是为了使施主或受主杂质原子能够进入到晶体中去,需要首先把杂质原子电离成离子,并用强电场加速、让这些离子获得很高的动能,然后再直接轰击晶体。
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